Slide 1: Breakthrough 2022
株式会社 アルバック 2021年7月~2022年6月 2022年8月10日 証券コード：6728 Breakthrough 2022 © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information FY204QPSN20210811J 1
Slide 2: 将来見通しに関する記述についての注意事項
将来見通しに関する記述についての注意事項 本資料に記載の業績見通しならびに将来予測は、現在入手可能な 情報に基づき作成されたものです。 世界経済情勢、半導体・電子部品・FPD・原材料などの市況、設備 投資の動向、急速な技術革新への対応、為替レートの変動など様々 な要因により、実際の業績・成果等はこれらの見通し・将来予測と大き く異なる可能性があることをご承知おきください。 © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information FY204QPSN20210811J 2
Slide 3: FY2021 results summary
受注高 2,701億円（前年同期比+36%） • 半導体・電子：ロジック・メモリ・パワーデバイス・各種電子デバイス投資活発化 • FPD ：ITパネル用LCD投資活発化 売上高 2,413億円（前年同期比+32%） • 部品長納期化等の影響はあるものの受注高増加により大幅増加 営業利益 301億円（前年同期比+75％） • 売上総利益率は30.6％（上場来最高水準） • 営業利益率は12.5%（前年同期比+3.1pt）に改善 配当予想 期末配当を当初予想110円から124円に増配（20年度実績比+29円） 【単位：億円】 FY20 FY21 前年同期比 FY21計画 計画比 2,450 受注高
Slide 4: FY2022 plan and dividend forecast
、 配当予想 22年度配当予想は141円（21年度比+17円） 【単位：億円】 FY21実績 FY22計画 増減率 受注高 2,701 2,700 - 売上高 2,413 2,500 +4% 営業利益 301 345 +15% © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information Breakthrough 2022 FY204QPSN20210811J 4
Slide 5: 売上高・営業利益（率）推移
21年度の売上高2,413億円（+582億円）・営業利益301億円（+129億円）は前年同期を大きく上回る 22年度の売上高は2,500億円（半導体・電子が大きく成長）、営業利益は345億円の計画 売上高・営業利益（率） 【単位：億円】 半導体及び電子部品製造装置 FPD製造装置 コンポーネント 一般産業用装置 材料 その他 営業利益 営業利益率 2,500 2,413 1,854 1,830 13.8% 12.5% 9.4% 8.6% 345 301 160 172 実績 実績 実績 計画 FY19 FY20 FY21 FY22 © 2022 ULVAC, Inc. | Confidenti
Slide 6: Breakthrough
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Slide 7: FY2021 results versus prior year and plan
受注高：半導体・電子・FPD投資活発化等により、前年同期比36%増加、計画比10%増加 売上高：前年同期比32％増加、計画比15%増加、営業利益：前年同期比75％増加、計画比13%増加 営業利益率：12.5%（前年同期比+3.1pt）に改善 2020年度 2021年度 【単位：億円】 実績 ※計画 実績 前年同期比 計画比 受注高 1,989 2,450 2,701 +712 +36% +251 +10% 売上高 1,830 2,100 2,413 +582 +32% +313 +15% 売上総利益 538 - 737 +200 +37% - - 率 29.4% 31.9% 30.6% +1.
Slide 8: 売上高・営業利益、利益率推移
売上高：半導体・電子の投資活発化等により、前年同期比32％増加 部材長納期化・価格上昇の影響はあるもののモノづくり力強化による利益率改善・売上増加等により、売上総利益率は 19年度比3.3pt改善、上場来最高水準となる30.6%となった。営業利益率も19年度比3.9pt改善し、12.5％となった。 売上高・営業利益 【単位：億円】 売上総利益・営業利益率 【単位：％】 11 18.0 34.0 売上高 営業利益 売上総利益率 営業利益率 17.0 2,413 500 33.0 2,400 11 16.0 2,200 450 上場来最高水準 32.0 15.0 2,000 1,854 1,830
Slide 9: 受注高・売上高 19年度比増加
半導体・電子・FPDの投資活発化により、受注高・売上高ともに19年度比大幅に増加 19年度比、全品目で受注高・売上高が増加 受注高 売上高 半導体及び電子部品製造装置 コンポーネント 材料 半導体及び電子部品製造装置 コンポーネント 材料 【単位：億円】 FPD製造装置 一般産業用装置 その他 【単位：億円】 FPD製造装置 一般産業用装置 その他 19年度比 19年度比 +1,135(+72%) +559(+30%) +78(+49%) +22(+13%) +85(+61%) +84(+62%) +80(+40%) +24(+13%) +54(+19%) +11(+4%) +470(+140
Slide 10: 受注高 品目別
半導体・電子・FPDの投資活発化により、前年同期比+712億円、計画比+251億円ともに大幅増加 全品目で前年同期・計画を上回る実績 受注高 半導体及び電子部品製造装置 コンポーネント 材料 【単位：億円】 FPD製造装置 一般産業用装置 その他 前年同期比 修正計画比 半導体・電子（前年同期比 39％増加） • ロジック:メタル・ハード・マスク工程増加 +712(+36%) +251(+10%) • メモリ:投資継続 +57(+32%) +36(+18%) • パワーデバイス・各種電子デバイス:日本・中国中心に +70(+45%) +24(+12%) 増加 +29(+12%) +50(+22
Slide 11: 売上高 品目別
半導体・電子・FPDの投資活発化により、前年同期比+582億円、計画比+313億円ともに大幅増加 売上高 半導体及び電子部品製造装置 コンポーネント 材料 【単位：億円】 FPD製造装置 一般産業用装置 その他 前年同期比 計画比 +582(+32%) +313(+15%) +25(+15%) +13(+7%) 半導体・電子（前年同期比 20％増加） +69(+46%) +64(+41%) • 部品長納期化等の影響はあるもののロジック・メモリ・ △18(△8%) △42(△17%) パワーデバイス・各種電子デバイス投資活発化により +33(+12%) +12(+4%) 前年同期比を上回る FP
Slide 12: Breakthrough
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Slide 13: スマート社会化・グリーンエネルギー化と投資動向
「スマート社会化・デジタル化+メタバース」×「グリーンエネルギー化」 半導体・各種電子デバイス・ディスプレイ：「技術革新投資」×「増産投資」 各国支援による地域サプライチェーン構築のための投資も活発化 ロジック・メモリ 大容量化 売上高 FY19比 1.6倍 倍 FY19実績 FY21実績 FY22計画 高速処理 196億円 310億円 410億円 低消費電力化 パワー・オプト・通信デバイス・実装・センサー 低消費電力化 売上高 FY19比 1.4倍 倍 多機能化 FY19実績 FY21実績 FY22計画 小型・低コスト化 256億円 368億円 495億円 高速低遅延 OLED・LCD／バッ
Slide 14: ロジック：MHM工程参入
ロジック：EUV導入で必要となるメタル・ハード・マスク（MHM）工程参入実現(18年) ⇒5ナノ以下でのデファクトスタンダード採用により市場の伸びを上回る成長実現 セカンドベンダーとして他工程参入の機会増加⇒ビジネスチャンス拡大 ロジックとメモリの両輪で成長実現 ロジック参入でビジネスチャンス拡大 半導体市場の生産能力見通し EUV関連投資拡大：8割 Logic NAND DRAM 【k/month】 EUV関連投資 汎用ロジック投資 【単位：bnUS$】 12,000 半導体生産能力 60 ロジック設備投資 MHM・他工程参入 • ファウンドリー2社の5ナノ以下の工程でデファクトスタ 50
Slide 15: ロジック・メモリの成長計画
ロジック：MHM工程・他工程参入・顧客拡大により、22年度は市場( 19年比2.1倍)を上回る成長(3.9倍)を計画 中期経営計画を上方修正：22年度売上高 2,100億円→2,350億円、営業利益 340億円→390億円 メモリ : 従来工程・他工程参入により高水準継続 半導体・電子・FPD関連の投資拡大が見込まれることから、技術革新に対応する研究開発投資を150億円増額 半導体設備投資予測 【単位：bnUS$】 受注計画 【単位：億円】 ロジック NAND DRAM 他 ロジック 不揮発性メモリ DRAM 500 470 100 受注動向（前年同期比32％増加計画） DRAM 400 ロジ
Slide 16: 電子デバイス別 投資動向
主なデバイス 最終用途 投資動向 • EV車載デバイス グリーンエネルギー化・EV化進展による投資活発化 IGBT • インバータモータ パワーデバイス 日系主要各社による中長期的な積極投資計画 SiC • 産業用ロボット 中国投資拡大（国産化方針・地方政府支援） Si-MOSFET • 省電力機器 μOLED • AR/VR 日本・中国でμOLED投資活発化（メタバース・ • 車載用インパネ リモート活用拡大等） オプトデバイス 反射防止膜 3Dセンサー高度化に伴う高品質バンドパスフィル バンドパスフィルター • ３Dセンサー ター・光回折格子需要拡大 5G拡大等に伴うSAW・BAWフィルタ
Slide 17: 電子デバイス 受注計画
パワーデバイス、オプトデバイス等の投資が日本・中国を中心に活発化 特に中国は政府の国産化方針もあり、パワーデバイス、各種電子デバイス投資活発化 受注計画（分野別） 【単位：億円】 受注計画（地域別） 【単位：億円】 投資・受注動向（前年同期比11％増加計画） パワーデバイス オプトデバイス 通信デバイス 実装 電子部品（MEMS) 日本 中国 台湾 その他 パワーデバイス 日本：8inch生産能力増強に加えて、12inch化・SiC化 投資開始 510 510 中国：SiCの増産投資に加え、12inchIGBT投資開始 500 460 500 460 電子デバイス 電子部品 400 343 4
Slide 18: パワーデバイスの高成長継続
グリーンエネルギー化・EV化進展等に伴いパワーデバイスの高成長継続（22年度受注：19年度比2.8倍） IGBT SiC Si-MOSFET 日本 日本 中国 • 8inch増産投資＋12inch投資開始 • 8inch投資開始 • 国産化方針・地方政府支援 • 家電製品等のインバーター化 中国 中国 • Low～Midエンド機器の需要旺盛 • 国産化方針・地方政府支援 • 国産化方針・地方政府支援 • 12inch設備投資開始 • 6inch増産投資拡大 日本 中国 中国 • 裏面電極用スパッタ装置で高いシェア • SiC用イオン注入装置シェア７割 • 現地生産による価格競争力 • 日系主要
Slide 19: 中国国産化方針と投資動向
電子デバイス需要増加・輸入依存脱却 中国国産化方針 ・パワーデバイス ・サプライチェーンの安定化 ・各種電子デバイス ・貿易収支改善 地方政府支援（各種優遇・支援） 中国国内投資加速化（景気対策） 沿海部中心にパワー・電子デバイス工場建設増 新エネルギーシフト（グリーン化） ・再生可能エネルギーシフト ・新エネルギー車回復・増加 ・LiB生産量増加 デジタルインフラ建設 ・５G基地局 ・データセンター © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information Breakthrough 2022 FY204QPSN20210811
Slide 20: FPD設備投資動向
ITパネル（タブレット・PC・車載用・医療用・ゲーム用等）投資活発化：LCD⇒OLED化進展 大型基板OLED投資の量産開発進展⇒22~23年度量産投資本格化 今年度よりバッテリー用巻取蒸着装置が寄与 FPD設備投資動向 【単位：億円】 受注計画 【単位：億円】 投資動向 （蒸着・スパッタ） • 21年度上期はITパネルを中心としたLCDパネル投資が OLED LCD OLED LCD キャパシタ・その他 バッテリー 2,000 集中 • 大型基板OLED投資の量産開発進捗するも22年度は 805 一時的な端境期 800 1,600 当初計画 • 23年度以降、OLED投資がパネル投資を本格牽
Slide 21: 8.5世代OLED向けスパッタ装置
ITパネル用8.5世代OLEDの量産投資本格化(22~23年度)：スパッタ装置も8.5世代対応 ITパネルは高精細化ニーズが高く、従来の縦型スパッタ装置に加え、 より低パーティクル化が期待できる枚葉型G8.5スパッタ装置を開発 ⇒両方式対応可能 枚葉型スパッタリング装置（G8.5） 縦型スパッタリング装置(G8.5） 20 m 24 m 5.8 m 5m Higher Definition 枚葉型スパッタ装置（G6)の大型化で、 G10.5スパッタ装置(シェア9割)の大型 低パーティクル化・高精細化を実現 パネル搬送技術を活かして、ITパネル用 Productivity Improvement
Slide 22: EVバッテリー用巻取蒸着装置
EVバッテリーの小型大容量化、安全性向上実現のため、巻取蒸着装置を開発 ①集電体：安全性・軽量化実現のため、金属箔の両面蒸着フィルムへの置き換え投資開始(22年度) ②負極：大容量化実現のため、従来の「黒鉛+シリコン」⇒「リチウム蒸着膜」：開発中 ⇒NEDOグリーンイノベーション基金事業「次世代蓄電池・次世代モーターの開発」採択 アルミ箔･銅箔 → 両面蒸着膜 【エネルギー密度向上】 ( 重量当たりのエネルギー量 Wh/kg ) 現在 将来 重量半減⇒ エネルギー密度向上 ①集電体(Current Collector) 【安全性向上】 短絡防止機能付与⇒火災リスク低減 負極集電体（ACC） 部
Slide 23: コンポーネント・マテリアル・カスタマーサポート
コンポーネント マテリアル カスタマーサポート 半導体電子・EV関連 投資活発化 半導体向け 受注拡大 装置稼働率上昇 受注拡大 売上高 FY19比 1.1倍 倍 売上高 FY19比 1.5倍 倍 売上高 FY19比 1.2倍 倍 FY19実績 FY21実績 FY22計画 FY19実績 FY21実績 FY22計画 FY19実績 FY21実績 FY22計画 売上高に対するCS割合 269億円 302億円 320億円 150億円 219億円 235億円 28％ 25％ 28％ • 半導体電子製造装置用ポンプ・DC/RF • 先端半導体向け高品質焼結ターゲット • 半導体電子の投資活発化・装置稼働
Slide 24: VersaProbe4 新モデル発売
21年：新モデル（VersaProbe4）発売⇒世界シェアアップ（3割台→5割弱） 売上高 FY19比 1.3倍 倍 22年7月：多機能新モデル発売 FY19実績 FY21実績 FY22計画 • 従来4機種（異なる測定機能）⇒1台に集約 • 電池・自動車関連部品の組成分析、半導体の薄膜評価等に1台で対応可能 （HAXPES（Cr）・LEIPS機能を持つ分析装置はアルバック・ファイのみ） ⇒拡大する需要に対応しシェアアップ 光子エネルギー 5414.9 eV 1487.6 eV 21.2 eV EF EVAC フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置 HAXPES XPS UPS LEIPS
Slide 25: モノづくり力強化と売上総利益率
部材長納期化・価格上昇の影響はあるものの、モノづくり力強化により、売上総利益率は着実に改善 本社の「開発・設計」と国内生産子会社の「製造」一体化（吸収合併）により海外工場も含めたモノづくり 力強化⇒利益率改善を強力に推進 3,000 売上総利益率推移 【単位：%】 38.0 37.0 36.0 売上高 売上総利益率 33.0 35.0 34.0 技術設計の改革 購買の改革 2,500 33.0 30.6 技術図面の完成度向上 購買体制一体化 32.0 31.0 設計バリューエンジニアリング強化 グローバル・サプライチェーン 29.3 29.4 29.4 30.0 27.5 27.3 29.0
Slide 26: モノづくり力強化・サプライチェーン
モノづくり力強化を加速化 安定調達・生産に貢献 韓国 本社の「開発・設計」と国内生産子会社2社（東北・九州）の サプライチェーン 地域ごとに構築したグローバルサプライチェーンの一体化・連携 「製造」の一体化により海外工場も含めたモノづくり力強化 吸収合併 一体化・連携強化 瀋陽 東北工場 本社 中国 韓国 韓国 SC 日本 開発 SC SC 九州工場 蘇州 成都 サポート 台湾 台湾 SC © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information Breakthrough 2022 FY204QPSN20210811J 26
Slide 27: 研究開発投資
21年度は部材長納期化の影響もあり、研究開発投資の一部が22年度にズレ込むが、引き続き成長分野の研究開発投 資継続・拡大 ⇒次期中期経営計画でも成長のための研究開発投資は増額方針 半導体はMHM・他工程、電子はパワー・各種デバイス、標準化・モジュール化、FPDはOLED用G8.5スパッタ・バッテリー 用巻取蒸着などの開発を推進 ⇒今後の成長の柱 研究開発投資推移（3年合計）【単位：億円】 研究開発投資推移（単年度） 【単位：億円】 半導体：4割弱 650 MHM・他工程(ロジック・メモリ) 514 278 電子：2割弱 446 287 パワーデバイス（イオン注入・スパッタ） 各種電子デバイス（
Slide 28: 株主還元・配当
株主還元は最重要政策の一つ。更なる成長により、増配による株主還元を目指す （着実に配当を増額、21年度より配当性向30％以上を目標に） 顧客の設備投資動向の変動・技術革新の激しい業界 ⇒成長領域への研究開発投資力確保を最重視。業界変動への対応や業績変動リスクへ対応のため財務基盤も拡充 1株当たり配当金・配当性向推移 【単位：円】 配当性向30％以上 141 124 成長投資 110 105 95 95 80 50 30 財務基盤強化 株主還元 10 0 FY13 FY14 FY15 FY16 FY17 FY18 FY19 FY20 FY21 FY21 FY22 当初予想 修正予想 予想 【単位
Slide 29: 中期経営計画 目標値と実績
• 成長に向けた開発投資（選択と集中） 1. 成長事業の強化 3. モノづくり力強化 • 体質転換による利益重視の経営 2. 研究開発力強化 4. グループ経営効率強化 FY2020 FY2021 FY2022 目標値 （実績） （計画） （実績） 売上高 2,350 億円 1,830 億円 2,413 億円 2,500 億円 売上総利益率 35％以上 29.4% 30.6% 33.0% 営業利益率 16%以上 9.4% 12.5% 13.8% ROE 13%以上 9.2% 11.4% 12.0% 営業CF 290 億円 255 億円 339 億円 240 億円 © 2022 ULVAC, I
Slide 30: 中期経営計画の成果・進捗評価
中期経営計画の取り組み（計画） 成果・進捗評価 ロジックの微細化工程新規参入 ロジック・メモリ投資堅調⇒売上計画超過 半導体 メモリ投資再開・新工程参入 MHM工程+他工程参入+顧客拡大で成長 パワー・オプト・電子デバイス等の投資活発化 成長事業の強化 モジュール化による提案装置拡大 ⇒日本・中国を中心に売上計画超過 電子 研究開発力強化 中国での開発・営業・サポート体制強化 モジュール化「uGmniシリーズ」で提案装置拡大 中国営業・技術サポート体制強化で売上計画超過 大型基板OLED量産開発 LCD投資継続・OLED化で売上計画超過 FPD 利益体質に転換 着実にモノづくり力強化実施→利益
Slide 31: 2022年度業績予想の前提
【2022年度業績予想の前提】 想定される下記のリスクを織り込んで業績予想を作成 今後、急激な環境変化発生時には、速やかに対応策検討・必要に応じた計画見直し等を行う方針 市場が想定するリスク 現状と影響 前提・対応 部材長納期化・価格高騰 • リードタイム長期化・売上貢献に遅れ 前提 • 部材長納期・価格高騰は当面継続 • モノづくり力強化・利益率改善の遅れ • 生産子会社合併で海外工場も含めたモノづくり力強化 対応 • 顧客・サプライヤー連携⇒先行受注・手配、代替部品検討 • 製造コスト・原価低減の徹底、販売価格の適正化 半導体・電子関連投資頭打ち • 顧客の投資計画を確認し計画策定 • 最
Slide 32: 2022年度業績予想
受注高：半導体・電子投資活発化等により、前年同様の高水準を計画 売上高：2,500億円、前年同期比4％増加、営業利益：345億円、前年同期比15％増加の計画 営業利益率：13.8%（前年同期比+1.3pt）に改善計画 売上高と営業利益の推移 【単位：億円】 2021年度 2022年度計画 売上高 営業利益 【単位：億円】 実績 上期 通期 前年同期比 1,356 1,320 1,180 受注高 2,701 1,320 2,700 -1 0% 1,057 210 売上高 2,413 1,180 2,500 87 4% 186 営業利益 301 135 345 44 15% 135 114 率 1
Slide 33: 受注高・売上高計画
受注高：21年度に急増したITパネル用LCD投資の反動でFPDが減少するものの、半導体・電子が増加し、 同水準の計画 売上高：FPDが一時的に減少するものの、半導体電子を中心に増加し、4％増加の計画 受注高 売上高 半導体及び電子部品製造装置 コンポーネント 材料 半導体及び電子部品製造装置 コンポーネント 材料 【単位：億円】 FPD製造装置 一般産業用装置 その他 【単位：億円】 FPD製造装置 一般産業用装置 その他 FY19 FY20 FY21 FY22 FY19 FY20 FY21 FY22 計画 計画 © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Pr
Slide 34: 利益率改善計画
部材長納期化・価格上昇の影響はあるものの、モノづくり力強化・生産性向上、売上増加等により、売上総利益率・ 営業利益率の改善を推進 売上総利益率 3,000 【単位：億円、％】 売上高 売上総利益率 36.0 営業利益率 3,000 【単位：億円、％】 売上高 営業利益率 17.0 35.0 16.0 2,500 34.0 2,500 15.0 33.0 33.0 13.814.0 2,000 32.0 2,000 12.5 13.0 30.6 31.0 1,500 29.4 29.4 30.0 1,500 12.0 27.3 29.0 11.0 1,000 28.0 1,000 10.8 10
Slide 35: 成長戦略 半導体・電子、FPD
半導体・電子 • 先端ロジックMHM工程に加え、配線工程等他工程参入・他社採用で成長 • メモリ投資に頭打ち感が見られる中、セカンドベンダー期待もあり他工程参入で成長 • 日中のパワーデバイス・各種電子デバイスの技術革新投資への対応・モジュール型装置投入で成長 • 中国の国産化対応で成長 FPD • 大型基板OLEDのスパッタ装置・バッテリー用巻取り蒸着装置で成長 © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information Breakthrough 2022 FY204QPSN20210811J 35
Slide 36: TCFD賛同・人権方針・子会社吸収合併
気候関連財務情報開示タスクフォース 完全子会社の吸収合併 （TCFD）提言への賛同 7月1日に国内主要製造子会社2社を吸収合併しました。「モノづくり 気候変動関連財務情報開示タスクフォース（TCFD）による提言へ賛同し、 力強化」加速のため、多種多様な製品生産技術を取り込み、生産性 「TCFDコンソーシアム」に参加しています。TCFDの提言に基づき、気候変動が と利益率のより一層の向上を目指します。 事業に与えるリスク・機会の両面に関して、戦略・リスク管理・ガバナンスなどの 観点から情報開示を進めていきます。 アルバック アルバック アルバック九州 九州工場 東北工場 アルバック東北 ULVA
Slide 37: 製品と用途
メモリ ロジック IC センサー 通信デバイス バッテリー スパッタリング コンポーネント エッチング マテリアル 真空蒸着 CVD カスタマーサポート © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information Breakthrough 2022 FY204QPSN20210811J 37
Slide 38: Breakthrough
© 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information Breakthrough 2022 FY204QPSN20210811J 38
Slide 39: 四半期業績推移
2020年度 実績 2021年度 実績 【単位：億円】 1Q 2Q 上期 3Q 4Q 下期 通期 1Q 2Q 上期 3Q 4Q 下期 通期 前年同期比 受注高 312 598 910 421 658 1,079 1,989 663 783 1,446 596 659 1,255 2,701 +35.8% 売上高 366 473 838 447 545 992 1,830 474 583 1,057 604 752 1,356 2,413 +31.8% 売上総利益 94 139 233 134 171 304 538 132 189 321 186 230 416 737 +37.2% 率 25
Slide 40: 半期売上高・営業利益推移
売上高・営業利益 【単位：億円】 売上総利益率・営業利益率 1,200 【単位：％】】 30 売上高 営業利益 売上総利益率 営業利益率 1,000 25 30.7 1,200 30.7 30.4 1,356 30 800 28.1 27.8 20 1,000 26.5 1,057 967 992 800 25 887 186 600 13.8 15 838 600 11.4 20 400 8.7 8.6 10 113 114 400 10.8 84 76 15 58 200 200 7.0 5 0 10 0 0 1H 2H 1H 2H 1H 2H 1H 2H 1H 2H 1H 2H FY19
Slide 41: 受注高・売上高 推移
受注高 【単位：億円】 売上高 【単位：億円】 半導体及び電子部品製造装置 コンポーネント 材料 半導体及び電子部品製造装置 コンポーネント 材料 FPD製造装置 一般産業用装置 その他 FPD製造装置 一般産業用装置 その他 FY19 FY20 FY21 FY19 FY20 FY21 © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information Breakthrough 2022 FY204QPSN20210811J 41
Slide 42: 受注高・売上高 推移
受注高 【単位：億円】 売上高 【単位：億円】 半導体及び電子部品製造装置 コンポーネント 材料 半導体及び電子部品製造装置 コンポーネント 材料 FPD製造装置 一般産業用装置 その他 FPD製造装置 一般産業用装置 その他 FY19 FY20 FY21 FY19 FY20 FY21 © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information Breakthrough 2022 FY204QPSN20210811J 42
Slide 43: 資産・負債・純資産
資産 【単位：億円】 負債・純資産 【単位：億円】 現金・預金 支払手形・買掛金 受取手形・売掛金 有利子負債 棚卸資産 その他流動負債 その他の流動資産 その他固定負債 有形固定資産 3,543 純資産 3,543 投資有価証券 他 550 2,928 2,928 1,180 361 395 915 395 521 863 332 111 103 663 494 372 75 100 1,965 1,737 661 650 241 255 FY2020 FY2021 FY2020 FY2021 © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary
Slide 44: 設備投資・研究開発費の推移
設備投資の推移・計画 【単位：億円】 研究開発費の推移・計画 【単位：億円】 建物・生産設備等 研究開発設備 減価償却費 215 128 103 92 129 129 150 83 84 84 110 103 100 72 66 51 66 69 86 92 78 81 57 65 63 69 65 52 45 30 FY17 FY18 FY19 FY20 FY21 FY22 FY17 FY18 FY19 FY20 FY21 FY22 計画 計画 © 2022 ULVAC, Inc. | Confidential and Proprietary Information Breakthrough
Slide 45: 地域別売上高
売上高 【単位：億円】 売上高比率 日本 中国 韓国 台湾 その他アジア 欧米他 合計 日本 中国 韓国 台湾 その他アジア 欧米他 2,493 2,413 7% 8% 5% 4% 4% 2% 2% 167 3% 95 3% 2% 67 2,207 47 8% 10% 12% 7% 7% 178 177 292 47 11% 11% 14% 1,854 1,830 15% 15% 383 162 94 82 353 237 56 37 150 176 211 33% 254 36% 34% 38% 37% 950 728 899 675 627 39% 857 36% 36% 748 727
Slide 46: Breakthrough
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