Kla Corporation · NASDAQ:KLAC

Kla — Fact Sheet (2024)

1 slide from Kla's fact sheet, 2024

1. Slide 1: Surfscan SP A2/A3 产品资料

   产品资料 Surfscan® 无图案晶圆检测系统可以对半导体芯片上的各种关键的良率 和可靠性缺陷及表面质量问题进行检测 SP A2/A3 优势： Surfscan SP A2和 SP A3通过对关键缺陷进行高灵敏度和高产量的检测，协助芯片、 晶圆和设备制造商实现工艺和工艺设备的认证和监控，并帮助汽车芯片制造商：  通过分析辨认可能影响芯片可靠性的随机缺陷的起源，在研发和量产中达成零缺 陷的要求  实施持续改进计划，解决工艺设备缺陷的来源，确保所有工艺设备达到实现汽车 可靠性目标的最低标准  确认汽车芯片制作流程中的最优性能的工艺设备 技术：  DUV激光源和DUV优化光学系统  可同

KLA — Fact Sheet (2024) on 6ix