Kla Corporation · NASDAQ:KLAC

Kla — Fact Sheet (2022)

1 slide from Kla's fact sheet, 2022

1. Slide 1: Axion T2000 产品说明书

   产品说明书 Axion® 高分辨率 CD-SAXS 量测系统可为复杂、高宽比的三维立体堆叠结构存 储器 （3D NAND）和动态随机存储器 （DRAM）提供快速、精确、 T2000 无损的三维 （3D）形状测量。 好处： Axion® T2000 利用创新的 X 射线技术来识别可能影响存储器件功能或性能的细微 结构变化。通过提供高分辨率、无损的三维 (3D) 外形测量，Axion T2000 帮助先进 存储器制造商：  在研发过程中获得快速的学习周期，从而减少对长周期、破坏性测量方法（如 FIB-SEM、TEM 和横截面 SEM）的依赖  通过对新的工艺、设计节点和器件进行快速准确的表征和

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